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電容式傳感器的原理,其在結(jié)構(gòu)上有如下特點(diǎn),這無論對使用和設(shè)汁制造上都必須充分注意才能保證發(fā)揮IFM電容傳感器的長處。
①對絕緣要求高,因此極板支持構(gòu)件或極板間絕緣材料均要求用有良好絕緣性能的如石英、陶瓷、聚四氟乙烯、云母等。這是因為傳感器電容一般不大(pf級),因此是高阻抗,絕緣電阻作為其旁路,必需比一般電器的絕緣電阻(幾兆歐)高出許多,才不致于影響電容的性能。
②要能經(jīng)受外界環(huán)境(如溫度、濕度、壓力等)的變化,溫度會影響極板尺寸,間隙大小以及介質(zhì)介電常數(shù);濕度對介電常數(shù)和絕緣電阻影響更大,嚴(yán)重時在極板上結(jié)露會危及正常工作;空氣壓力不僅會影響電容值,甚至?xí)绊憳O板間耐壓強(qiáng)度;塵埃及腐蝕氣體亦都會影響正常工作。因此材料上選用膨脹小,耐溫、防腐的:結(jié)構(gòu)取形狀穩(wěn)定性好、能防塵、隔溫、防凝露的。
③要盡量減小極板間的邊緣場電容Ca。引線電纜的分布電容Cd,極板與周圍導(dǎo)體等構(gòu)件構(gòu)成的寄生電容Cp。因為它們使傳感器實(shí)際電容增加,使隨被測量變化的相對值下降,造成靈敏度降低,此外它們隨外界條件隨機(jī)變化,會嚴(yán)重干擾傳感器隨被測量而變化的部分。因此在結(jié)構(gòu)等方面的采取有相應(yīng)措施,若是非接觸測量,被測件作為一個極板時,則希望它光潔、平整、面積不小于另一極板。
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